潔凈室用的FFU風(fēng)機(jī)過濾單元高效過濾器的DOP檢漏怎么操作

在FFU風(fēng)機(jī)過濾單元高效過濾器上風(fēng)側(cè)發(fā)DOP檢漏時(shí)，在FFU高效過濾器的上風(fēng)側(cè)必須設(shè)有DOP的導(dǎo)入裝置及濃度檢測(cè)管。FFU這兩個(gè)管子也可以用來檢測(cè)過濾器的阻力。

在FFU檢測(cè)中，如果室內(nèi)干擾因素太多，為排除干擾，可在風(fēng)口出口加隔離罩，在罩內(nèi)進(jìn)行檢測(cè)，這樣檢測(cè)的數(shù)據(jù)較為準(zhǔn)確。

尤其要注意的是，在過濾器和安裝框架之間的檢漏，可以沿安裝框架檢漏，也可以送風(fēng)口箱體斷面上檢漏，但要排除卷吸氣流的干擾，要避免箱體上的積灰干擾，尤其是采樣口不能接觸高效風(fēng)口箱體或過濾器的框架。

在有速度的氣流中采樣，采樣速度應(yīng)等于氣流速度，否則采樣濃度將大于或小于真實(shí)濃度，即氣流速度大于采樣速度，采樣濃度將大于真實(shí)濃度，反之，氣流速度小于采樣速度，采樣濃度將小于真實(shí)濃度。

假定FFU高效過濾器下實(shí)際斷面風(fēng)速為0.45m/s，圓形取樣口直徑Ds的計(jì)算：

V×1/4×πDs =Fa 2
Fa ——儀器采樣量,28.3L/min=472cm3/s

V ——FFU過濾器面風(fēng)速 0.45 m/s
經(jīng)計(jì)算 Ds=36. 5 mm

實(shí)際上儀器的取樣口直徑為35mm或正方形30×30mm，當(dāng)然取樣口也可以是長(zhǎng)方形的，經(jīng)計(jì)算此時(shí)的采樣速度為0.49～0.52m/s，可以認(rèn)為是等速采樣。

根據(jù)國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)組織(ISO)關(guān)于潔凈室及相關(guān)受控環(huán)境的測(cè)試和測(cè)試方法(ISO14644-3)中公式計(jì)算：Sr≤Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/Np式中：Sr-探管掃描速率cm/s;

Cc-被測(cè)過濾器上風(fēng)向氣溶膠濃度cm-3(50粒子/cm3);

Ps -被測(cè)過濾器最易穿透粒徑最大允許整體穿透率;

PL -被測(cè)過濾器的最大允許泄漏;

K -一個(gè)因數(shù)，表示PL可能比Ps大多少倍;

Dp -平行于掃描方向的探管尺寸 (cm)，本文使用圓形采樣管，直徑35mm;
Fs – 離散粒子計(jì)數(shù)器的標(biāo)準(zhǔn)樣品流量，

Fs=472cm3/s(28.3L/min);

Np -預(yù)期量，表現(xiàn)出泄漏特征的粒子計(jì)數(shù)值;

用下式計(jì)算：
Np=Cc×Ps×K×Fs
Np=Cc×Ps×K×Fs=50×0.005%×10×472=11.8 個(gè)，代入 Sr式得Sr=Cc×Ps×K×Dp×Fs/Np=50×0.005%×10×3.5×472/11.8= 3.5(cm/s)

每個(gè)測(cè)點(diǎn)實(shí)際獲得時(shí)間 Ts=Dp/Sr=1 s

所以，采樣口的掃描速率是和上游粒子濃度穿透率、K值、采樣口的口徑、采樣流量有著密切的關(guān)系。特別需要指出的是，如采用28.3L/min 的粒子計(jì)數(shù)器和2.83L/min的粒子計(jì)數(shù)器，他們的掃描速率可以相差十倍，也就是講，每檢測(cè)一個(gè)過濾器的時(shí)間也相差十倍。

規(guī)范要求掃描速率為5～20mm/s(其實(shí)這個(gè)速率是應(yīng)該根據(jù)具體情況可以計(jì)算調(diào)整的，一般建議采用28.3L/min的粒子計(jì)算器，掃描速率在30～ 5mm/s左右)。

規(guī)范第5.4.1條指出“對(duì)于高效過濾器，應(yīng)不大于過濾器出廠合格透過率的2倍，對(duì)于超高效過濾器，應(yīng)不大于出廠合格透過率的3倍?！倍鶕?jù)條文說明的第四節(jié)評(píng)定標(biāo)準(zhǔn)則相反，高效過濾器的透過率是3倍，而超高效過濾器的是2倍。從提供的數(shù)據(jù)來看，應(yīng)該是以條文為準(zhǔn)。

如果上游濃度為3.5×104 粒子 /L,0.5μm的高效過濾器效率是99.99%，下游濃度為3.5×104×0.01%×3=10.5。如果粒子計(jì)算器檢測(cè)≤ 10應(yīng)為合格，否則應(yīng)進(jìn)行修復(fù)，修補(bǔ)總面積不能超過過濾器截面的 5%，每個(gè)修補(bǔ)點(diǎn)修補(bǔ)的最大長(zhǎng)度必須在 40mm以下。

本文用14644-3的檢漏方法及有關(guān)計(jì)算。如上述，Np 是表泄漏特征的粒子數(shù)，在Np=11.8 時(shí)，可接受觀測(cè)計(jì)數(shù)Ca=7個(gè)。在檢漏中，塵埃粒子讀數(shù)C ≤ Ca時(shí)，認(rèn)為掃描區(qū)域無泄露，可繼續(xù)掃描，否則，要做靜態(tài)測(cè)定。靜態(tài)測(cè)定時(shí)，采樣頭在測(cè)點(diǎn)的滯留時(shí)間設(shè)定為10秒鐘，此時(shí)測(cè)得的最大粒子數(shù)為Npa：Npa=Cc×PL×FS×K=50×0.005%×10×472×10=118

這是采樣流量為472cm3/s，采樣時(shí)間為10s時(shí)的讀數(shù)值，大于此數(shù)可判斷為泄漏。

如果系統(tǒng)總風(fēng)量不大，DOP發(fā)塵可直接送入總風(fēng)管。如果DOP發(fā)塵的總量不夠，達(dá)不到預(yù)計(jì)的濃度要求，可將DOP直接發(fā)入高效送風(fēng)口的靜壓箱。需要指出的是，上游的氣溶膠濃度需要檢測(cè)。如果穩(wěn)定后，可對(duì)每個(gè)過濾器進(jìn)行泄漏檢測(cè)。如果上游的氣溶膠濃度太高，粒子 計(jì)數(shù)器無法檢測(cè)，可通過稀釋的方法來進(jìn)行測(cè)量。