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潔凈室知識(shí)
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100級(jí)潔凈區(qū)FFU是哪種送風(fēng)方式?
使用FFU的藥品生產(chǎn)廠房潔凈區(qū)百級(jí)區(qū)面積較小,通常與萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)同屬一個(gè)工藝流水線,與萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)溫、濕度要求相同,運(yùn)行班次相同,百級(jí)潔凈區(qū)溫、濕處理與補(bǔ)充新風(fēng),可以與其萬(wàn)級(jí)潔凈區(qū)一起來(lái)考慮,FFU采用一套組合空調(diào)器處理萬(wàn)級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)空調(diào)系統(tǒng)送風(fēng)。
百級(jí)區(qū)應(yīng)考慮FFU的發(fā)熱量,適當(dāng)加大換氣次數(shù),平衡百級(jí)區(qū)與萬(wàn)級(jí)區(qū)房間的溫、濕度,各個(gè)房間工藝設(shè)備的發(fā)熱量、散濕量也同樣考慮。
此種處理方式,FFU有如下優(yōu)點(diǎn):
①空氣處理系統(tǒng)簡(jiǎn)單。FFU避免百級(jí)區(qū)再另設(shè)一套小型空氣處理系統(tǒng)或新風(fēng)處理系統(tǒng)。
②避免在百級(jí)豎風(fēng)道內(nèi)設(shè)干盤(pán)管,也避免了因設(shè)干盤(pán)管引起的一系列問(wèn)題,比如干盤(pán)管冷源問(wèn)題,因?yàn)檫@里干盤(pán)管需冷凍水量很少,一般不足2m3/h,又不宜直接采用空調(diào)系統(tǒng)冷凍水(7-12
℃水),因?yàn)樗疁靥?可引起結(jié)露,污染百級(jí)區(qū)豎風(fēng)道環(huán)境;裝干盤(pán)管后引起FFU系統(tǒng)風(fēng)機(jī)壓頭不足,需再加壓等問(wèn)題。工程實(shí)踐證明,采用此種空氣處理方式,效果較好。
百級(jí)區(qū)的溫、濕度、正壓值、潔凈度都能得到較好的保證。整個(gè)流水線,萬(wàn)級(jí)區(qū)和百級(jí)區(qū)為一套空調(diào)系統(tǒng),同時(shí)運(yùn)行,統(tǒng)一控制,統(tǒng)一調(diào)節(jié)溫、濕度,簡(jiǎn)便、可靠性高。
附:層流潔凈室和亂流潔凈室知識(shí)
(1)層流潔凈室。層流潔凈室接氣流流型可分為垂直層流潔凈室和水平層流潔凈室。
水平層流潔凈室適用于工藝過(guò)程有多種潔凈度要求的潔凈室。
(2)亂流潔凈室。亂流潔凈室按送、回風(fēng)方式可分為頂送下回式亂流潔凈室和上側(cè)送下側(cè)回式亂流潔凈室兩種。
潔凈室(Clean Room),亦稱無(wú)塵車(chē)間、無(wú)塵室或清凈室。潔凈室的主要功能為室內(nèi)污染控制,沒(méi)有潔凈室,污染敏感零件不可能批量生產(chǎn)。在FED-STD-2里面,潔凈室被定義為具備空氣過(guò)濾、分配、優(yōu)化、構(gòu)造材料和裝置的房間,其中特定的規(guī)則的操作程序以控制空氣懸浮微粒濃度,從而達(dá)到適當(dāng)?shù)奈⒘崈舳燃?jí)別。潔凈程度和控制污染的持續(xù)穩(wěn)定性,是檢驗(yàn)潔凈室質(zhì)量的核心標(biāo)準(zhǔn),該標(biāo)準(zhǔn)根據(jù)區(qū)域環(huán)境、凈化程度等因素,分為若干等級(jí),常用的有國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)和國(guó)內(nèi)區(qū)域行業(yè)標(biāo)準(zhǔn),一些知名凈化工程公司,在通行標(biāo)準(zhǔn)之外,還設(shè)有自身執(zhí)行的高于國(guó)際化通行標(biāo)準(zhǔn)的凈化指標(biāo),凈化能力和環(huán)境適應(yīng)力遠(yuǎn)超國(guó)際品牌。
潔凈室是指將一定空間范圍內(nèi)空氣中的微粒子、有害空氣、細(xì)菌等污染物排除,并將室內(nèi)溫度、潔凈度、室內(nèi)壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動(dòng)及照明、靜電控制在某一需求范圍內(nèi),而所給予特別設(shè)計(jì)的房間。亦即是不論外在之空氣條件如何變化,其室內(nèi)均能俱有維持原先所設(shè)定要求之潔凈度、溫濕度及壓力等性能之特性。
潔凈室最主要之作用在于控制產(chǎn)品(如硅芯片等)所接觸之大氣的潔凈度日及溫濕度,使產(chǎn)品能在一個(gè)良好之環(huán)境空間中生產(chǎn)、制造,此空間我們稱之為潔凈室。按照國(guó)際慣例,無(wú)塵凈化級(jí)別主要是根據(jù)每立方米空氣中粒子直徑大于劃分標(biāo)準(zhǔn)的粒子數(shù)量來(lái)規(guī)定。也就是說(shuō)所謂無(wú)塵并非100%沒(méi)有一點(diǎn)灰塵,而是控制在一個(gè)非常微量的單位上。當(dāng)然這個(gè)標(biāo)準(zhǔn)中符合灰塵標(biāo)準(zhǔn)的顆粒相對(duì)于我們常見(jiàn)的灰塵已經(jīng)是小的微乎其微,但是對(duì)于光學(xué)構(gòu)造而言,哪怕是一點(diǎn)點(diǎn)的灰塵都會(huì)產(chǎn)生非常大的負(fù)面影響,所以在光學(xué)構(gòu)造產(chǎn)品的生產(chǎn)上,無(wú)塵是必然的要求。
每立方米將小于0.3微米粒徑的微塵數(shù)量控制在3500個(gè)以下,就達(dá)到了國(guó)際無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)的A級(jí)。芯片級(jí)生產(chǎn)加工的無(wú)塵標(biāo)準(zhǔn)對(duì)于灰塵的要求高于A級(jí),這樣的高標(biāo)主要被應(yīng)用在一些等級(jí)較高芯片生產(chǎn)上。0.5uM及以下的微塵數(shù)量被嚴(yán)格控制在每立方英寸1000個(gè)以內(nèi),這也就是業(yè)內(nèi)俗稱的1K級(jí)別。
空態(tài):已經(jīng)建造完成并可以投入使用的潔凈室(設(shè)施)。它具備所有有關(guān)的服務(wù)和功能。但是,在設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員操作的設(shè)備。
靜態(tài):各種功能完備、設(shè)定安裝妥當(dāng),可以按照設(shè)定使用或正在使用的潔凈室(設(shè)施),但是設(shè)施內(nèi)沒(méi)有操作人員。
動(dòng)態(tài):處于正常使用的潔凈室,服務(wù)功能完善,有設(shè)備和人員;如果需要,可從事正常的工作。
單向流(層流)潔凈室原理
在潔凈室內(nèi),從送風(fēng)口到回風(fēng)口,氣流流經(jīng)途中的斷面幾乎沒(méi)有什么變化,加上進(jìn)風(fēng)靜壓箱和高效過(guò)濾器的均壓均流作用,全室斷面上的流速比較均勻,而至少在工作區(qū)內(nèi)流線單向平行,沒(méi)有渦流。這也就是單向流潔凈室的三大特點(diǎn)。這里的流線單向平行,是指時(shí)均流線彼此平行,方向單一。
單向流潔凈室的流態(tài)從雷諾數(shù)判斷是紊流的,所以所謂層流潔凈室的層流和流體力學(xué)上的層流是完全不同的概念。因此,層流潔凈室這個(gè)名詞是不貼切的,國(guó)外某些標(biāo)準(zhǔn)和文章也指出這一點(diǎn),例如英國(guó)標(biāo)準(zhǔn)BS-5295就曾把所謂層流潔凈室定義為單向流潔凈室,只是照顧習(xí)慣在括號(hào)中注明為層流。前聯(lián)邦德國(guó)標(biāo)準(zhǔn)VDl- 2083則用“非紊流的置換流”這一術(shù)語(yǔ),并在注中指出,層流這一概念只是為了區(qū)別早于層流潔凈室出現(xiàn)的紊(亂)流潔凈室而在當(dāng)時(shí)采用的習(xí)慣用語(yǔ),“層流系統(tǒng)”的確切意思并不是分層流動(dòng),而是紊流的置換流,用本章提到的概念是紊流的漸變流。在流體力學(xué)中,這種流動(dòng)狀態(tài)也可稱平行流或單向流。1977年中國(guó)在《空氣潔凈技術(shù)措施》中選用了“平行流”這個(gè)術(shù)語(yǔ),在該術(shù)語(yǔ)后面同時(shí)也指出習(xí)慣上稱“層流”。
在單向流潔凈室內(nèi),干凈氣流不是一股或幾股,而是充滿全室斷面,所以這種潔凈室不是靠潔凈氣流對(duì)室內(nèi)臟空氣的摻混稀釋作用,而是靠潔凈氣流推出作用將室內(nèi)臟空氣沿整個(gè)斷面排至室外,達(dá)到凈化室內(nèi)空氣的目的。所以,前聯(lián)邦德國(guó)有人稱單向流潔凈室的氣流為“活塞流”、“平推流”前蘇聯(lián)稱之為“被擠壓的弱空氣射流”。干凈空氣就好比一個(gè)空氣活塞,沿著房間這個(gè)“氣缸”,向前(下)推進(jìn),而使塵粒只能前(下)進(jìn),沒(méi)有返回,把原有的含塵濃度高的空氣擠壓出房間。
在單向流潔凈室以及單向流凈化設(shè)備中,可以發(fā)現(xiàn)沿壁的和兩個(gè)過(guò)濾器搭接處下方的反向氣流。這種氣流將把下方的污染傳輸?shù)缴喜吭偎拖聛?lái),破壞了上述“活塞流”的狀態(tài),危害極大。對(duì)于和外界有開(kāi)口相通的局部?jī)艋O(shè)備,例如潔凈工作臺(tái),這種氣流將引射外界污染氣流,在設(shè)計(jì)上一定要減小過(guò)濾器邊框處所占的無(wú)效面積,更要設(shè)法使空間的壁面盡量接近過(guò)濾器有效迭風(fēng)截面。
通過(guò)上面分析,可以認(rèn)為保證單向流潔凈室特性(高潔凈度和快速自凈恢復(fù)能力)的重要先決條件有兩個(gè):①來(lái)流的潔凈度;②來(lái)流的活塞流情況;
對(duì)于來(lái)流的潔凈度,對(duì)通過(guò)高效以上過(guò)濾器送風(fēng)的單向流潔凈室來(lái)說(shuō)是不成問(wèn)題的,而對(duì)于來(lái)流的“活塞流”情況,則需作進(jìn)~步分析。
根據(jù)流體力學(xué)原理,來(lái)流條件對(duì)以后的流動(dòng)狀況將有直接的重要影響,送風(fēng)面出口氣流也就是工作區(qū)的來(lái)流。
來(lái)流的紊動(dòng)性大,則將影響后面的單向流特性;來(lái)流未充滿流動(dòng)截面,則將影響后面是否能形成“活塞流”和形成的快慢;而來(lái)流未充滿流動(dòng)截面也是來(lái)流素動(dòng)的一個(gè)因素。所以,在采用高效過(guò)濾器的條件下,保證單向流潔凈室特性的必要條件是“活塞流”,而“活塞流”的必要條件則是來(lái)流充滿流動(dòng)截面。但是,對(duì)一間房間而不是一段管道來(lái)說(shuō),讓氣流從頭至尾完全充滿流動(dòng)截面也是不現(xiàn)實(shí)的。
最初,確實(shí)認(rèn)為這種單向平行的氣流應(yīng)該充滿整個(gè)潔凈室,但這在技術(shù)上和經(jīng)濟(jì)上都是不利的。隨著認(rèn)識(shí)的發(fā)展,人們又指出這種單向流只是“在有限的領(lǐng)域內(nèi)全部空氣沿平行流線以等速流動(dòng)的意思”,并認(rèn)為能極力抑制渦流的發(fā)生。通過(guò)全空間的清潔空氣的單向流特性占支配地位的那樣的房間,也稱為單向流潔凈室。這就是說(shuō),不要求在整個(gè)房間都具有單向平行的流線,均勻的速度,沒(méi)有渦流,而是只要求單向平行流特性在這個(gè)房間中占支配地位,例如在整個(gè)工作區(qū)這一層空間保證了單向流,這個(gè)房間就是單向流潔凈室。前面介紹過(guò)的國(guó)內(nèi)外有關(guān)標(biāo)準(zhǔn)、措施中關(guān)于單向流潔凈室達(dá)到的高潔凈度,就是指在工作區(qū)內(nèi)達(dá)到的潔凈度。因此,密集布置的流線型散流器頂送和全孔板頂送,也被作為實(shí)現(xiàn)垂直單向流的手段使用。
亂流原理
潔凈室按其氣流狀態(tài)來(lái)區(qū)分,主要分為亂流(非單向流)潔凈室、單向流潔凈室和輻流潔凈室(也有稱矢流潔凈室的),這一節(jié)主要討論亂流潔凈室。前面已經(jīng)指出,不論是哪一種潔凈室,都是紊流流態(tài)。那為什么不都叫紊流潔凈室呢?
亂流潔凈室的名稱是借用于日文,但是日文的亂流就是紊流的意思,而中國(guó)最早在《空氣潔凈技術(shù)措施》中正式采用的亂流一詞是兼有紊流的含義而不同于流體力學(xué)上的紊流這一專有名詞。國(guó)際上習(xí)慣稱這種潔凈室為非單向流潔凈室。
所謂亂流潔凈室,一般包括以下各種送風(fēng)形式:
⑴高效過(guò)濾器頂送(有擴(kuò)散板和無(wú)擴(kuò)散板
⑵流線型散流器頂進(jìn)
⑶局部孔板頂送
⑷側(cè)送
具有這些送風(fēng)形式的潔凈室,如以雷諾數(shù)判斷,顯然屬于紊流流態(tài),但是如果把它們稱為紊流潔凈室就不合適。氣流沿整個(gè)頂棚下送,室內(nèi)速度達(dá)到0.25m/s 以上,這種室內(nèi)的流動(dòng)狀態(tài)也是紊流,但在后面就會(huì)搞清楚,雖然這兩種送風(fēng)方式都造成室內(nèi)紊流流態(tài),但是就其凈化室內(nèi)空氣的原理來(lái)說(shuō),卻是根本不同的,后者屬于單向流或平行流潔凈室的凈化原理。所以如果把前者稱為紊流潔凈室,則后者也應(yīng)被包含進(jìn)去了。
亂流潔凈室的主要特點(diǎn)是從來(lái)流到出流(從送風(fēng)口到回風(fēng)口)之間氣流的流通截面是變化的,潔凈室截面比送風(fēng)口截面大得多,因而不能在全室截面或者在全室工作區(qū)截面形成勻速氣流。所以,送風(fēng)口以后的流線彼此有很大或者越來(lái)越大的夾角,曲率半徑很小,氣流在室內(nèi)不可能以單一方向流動(dòng),將會(huì)彼此撞擊,將有回流、旋渦產(chǎn)生。這就決定亂流潔凈室的流態(tài)實(shí)質(zhì)是:突變流;非均勻流。
這比用紊流來(lái)描述亂流潔凈室更確切、更全面。紊流主要決定于雷諾數(shù),也就是主要受流速的影響,但是如果采用一個(gè)高效過(guò)濾器頂送的送風(fēng)形式,則即使流速極低,也要產(chǎn)生上述各種結(jié)果,這就因?yàn)樗且粋€(gè)突變流和非均勻流。因此這種情況下不僅有流層之間因紊流流動(dòng)而發(fā)生的摻混,而且還有全室范圍內(nèi)的大的回流、旋渦所發(fā)生的摻混。
所以,概括地說(shuō),亂流潔凈室的作用原理是:當(dāng)一股干凈氣流從送風(fēng)口送入室內(nèi)時(shí),迅速向四周擴(kuò)散、混合,同時(shí)把差不多同樣數(shù)量的氣流從回風(fēng)口排走,這股干凈氣流稀釋著室內(nèi)污染的空氣,把原來(lái)含塵濃度很高的室內(nèi)空氣沖淡了,一直達(dá)到平衡。所以氣流擴(kuò)散得越快,越均勻,稀釋的效果就越好。所 測(cè)點(diǎn)距離墻面1m(小面積房間為0.5m)。